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OceanOptics光纤光谱仪>> 应用系统>>SpecEl椭偏仪  

SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率,吸光率及膜厚的测量。

 

集成的精确测量系统

SpecEl由一个集成的光源,一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成,并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜,并且折射率测量可达0.005%

SpecEl可通过电话问价。

 

SpecEl软件及Recipe配置文件

通过SpecEI软件,你可以配置及存贮实验设计方法实现一键分析,所有的配置会被存入recipe文件中。创建recipe后,你可以选择不同的recipe来执行你的实验。

SpecEI软件截图显示的PsiDelta值可以用来计算厚度,折射率及吸光率。

配置说明

波长范围:

380-780 nm (标准) 450-900 nm (可选)

光学分辨率:

4.0 nm FWHM

测量精度:

厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%

入射角:

70°

膜厚:

单透明膜1-5000 nm

光点尺寸:

2 mm x 4 mm (标准) 200 µm x 400 µm (可选)

采样时间:

3-15s (最小)

动态记录:

3 seconds

机械公差 (height):

+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°

膜层数:

至多32

参考:

不用

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