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FTM 薄膜厚度光谱测量仪
FTM 薄膜厚度光谱测量仪通过薄膜表⾯与基底材料反射光⼲涉现象，可快速⽆损测量薄膜的厚度，膜厚测量范围为1nm-1mm，待测材料主要有PET、氧化物、氮化物和保护膜层等，通常这些覆膜的基底材料包括硅晶⽚或玻璃等，还可测铜箔的厚度，⼴泛应⽤于半导体、⼯业⽣产中。
仪器特点
1. 测量准确度眼nm；
2. 膜厚测量范围1nm-1mm；
3. 可分析单层或多层薄膜，最多可⾄6层薄膜；
4. 测量速度快，精准度⾼，可在线监测；
5. ⾮接触⽆损检测，不会损伤镀膜表⾯；
6. 可拓展：⽀持在线测量项⽬开发。
测量对象
技术参数
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